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微細レーザー加工機ABLASERの加工事例(8)
タンタル酸リチウム、ニオブ酸リチウムの加工事例

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微細レーザー加工機ABLASER

タンタル酸リチウム(LiTaO3)

穴   径 :0.02 mm
ピ ッ チ :0.07mm
板   厚 :0.25mm
アスペクト比:12.5

タンタル酸リチウム レーザー入射側 レーザー出射側

ニオブ酸リチウム(LiNbO3)

穴   径 :0.02 mm
ピ ッ チ :0.07mm
板   厚 :0.35mm
アスペクト比:17.5

ニオブ酸リチウム レーザー入射側 レーザー出射側

半導体製品で使用される、タンタル酸リチウム、
ニオブ酸リチウムにφ0.02mmの穴をあけることがます

印刷用:レーザー加工ニュース「微細レーザー加工機ABLASERの加工事例(8)」(PDF/698KB)PDF

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